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实现半导体晶粒两端面与两侧面非同步等光程成像检测的光学装置与方法

【专利号】: ZL 2022 1 0514315.2

【专利所有人】: 泉州师范学院

【技术领域】: 石油化工与新材料新能源产业

【所在单位】: 泉州师范学院

专利介绍
发明人：廖廷俤 颜少彬 林晓丹 郑恒 段亚凡 黄衍堂 专利所有人：泉州师范学院 本发明涉及实现半导体晶粒两端面非同步成像检测装置与方法，其特征在于：其中实现半导体晶粒两端面非同步成像检测装置在光学装置的光路方向上依次设置有相机、远心成像镜头、两组对称设置的直角转像棱镜、半导体晶粒和玻璃载物转盘，所述两组对称设置的直角转像棱镜位于远心成像镜头的光轴上；该检测装置与方法简化了系统的结构、降低了系统的制作成本，有利于提高系统工作的可靠性，此外，在光路上减少了至少两个透射面和一个全反射面，从而可降低多个棱镜加工误差而产生的叠加误差。
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